广东xrd掠入射(gixrd)检测-半导体xrd研究所

xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

同时存在晶粒细化与微应变

令k=1，作图，用小二乘法作直线拟合，则从直线的斜率可求出微观应变；而直线在纵坐标上的截距即为晶块尺寸的倒数。

晶粒尺寸与微观应变计算时应当注意的问题

首先，应当正确地判断样品的衍射峰宽化的原因。jade采用作图法，如果数据点基本上是在一条水平线附近，则应当只有晶粒细化的因素存在；若数据点保持在一条斜线附近，则表明有微应变存在。此时应进一步判断是否除微应变外是否还存在晶粒细化。

其次，广东xrd掠入射（gixrd）检测，测量前应当制作相应的仪器宽度曲线。测量仪器宽度曲线的样品应当是粗晶粒且无应变的粉末样品。仪器宽度曲线的测量应当与样品的测量条件相同。不同的测量条件可能导致不同的仪器宽度变化规律。

后，合适的拟合条件也是很重要的，不同的拟合参数可能会得到不同的计算结果。

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xrd掠入射（gixrd）检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

电子衍射和 xrd的区别

电子衍射是二维衍射和 xrd 是一维衍射，电子衍射和xrd的基本原理和衍射花样的几何特征相似，而且都遵循劳厄方程或布拉格方程。两者区别包括：

(1) 电子波的波长短，xrd掠入射（gixrd）检测服务，则受物质散射强（原子对电子的散射能比 x 射线强一万倍）；

(2) 电子衍射强度大，要考虑它们之间的相互作用，使电子衍射花样分析，---是强度分析变得复杂，不能像 x射线一样从测量强度来广泛地测定晶体结构；

(3) 由于电子衍射强度高导---子穿透能力有限，因此较使用于研究微晶、表面和薄膜晶体；

(4) 当晶粒大小只有几微米，甚至几千埃的时候，不建议用 xrd 。

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