锂电xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,锂电xrd检测分析,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
根据弹性力学的理论,甘肃锂电xrd检测,应变εφψ可表示为:式中e及v分别是材料的弹性模量及泊松比:如果x射线沿po方向入射,则εφψ还可表示为垂直于该方向(hkl)晶面间距改变量,根据布拉格方程,这个应变为:式中d0及2θ0分别是材料无应力状态下(hkl)晶面间距及衍射角。两个公式都表示应变εφψ,其中前者代表了宏观应力与应变之间关系,后者则是晶面间距的变化。
二者将宏观应力(应变)与晶体学晶面间距变化结合在一起,从而建立了x射线应力测试的理论基础。由于x射线穿透表面的---很浅,锂电xrd检测哪里可以做,在测试厚度范围内可简化为平面应力问题来处理,此时σz=txz=tyz =0,可对公式进行简化:令前面两个公式相等,简化后得到:令方位角φ分别为0°、90°及45°时,对上式简化,并对sin2ψ求偏导式中k称为x射线弹性常数或x射线应力常数,简称应力常数
这就是平面应力测试的基本公式,利用应力分量σx、σy和txy,实际上已完整地描述了材料表面的应力状态
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xrd进行定性分析时可以得到哪些有用信息?
x射线反射率(xrr:x-ray reflectivity)是一种表面表征技术,是利用x射线在不同物质表面或界面的反射线之间的干涉现象分析薄膜或多层膜结构的工具。通过分析xrr图谱可以确定各层薄膜的密度、膜厚、粗糙度等结构参数。
xrr的特点:
1无损检测
2对样品的结晶状态没有要求,不论是单晶膜、多晶膜还是非晶膜均可以进行测试
3 xrr适用于纳米薄膜,要求厚度小于500nm
4 晶面膜,表面粗糙度一般不超过5nm
5 多层膜之间要求有密度差
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物相分析每一种晶体都有它自己的晶面间距d,而且其中原子按照一定的方式排布着,锂电xrd检测测试,这反映到衍射图上各种晶体的谱线有它自己特定的位置。数目和强度i。因此,只需将未知物中的衍射图中各谱线测定的角度和强度和已知样品的谱线进行比较就可以达到分析目的。
通过对材料进行x射线衍射,分析其衍射图谱,获得获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息。测定晶粒度xrd测定晶粒度是基于衍射线的宽度与材料晶粒大小有关这一现象。对于tio2纳米粉体,其主要衍射峰2θ为21.5°。 当采用铜靶作为衍射源,波长为0.154nm,衍射角的2θ为25.30°,测量获得的半高宽为0.375°,一般scherrer常数取0.89.根据scherrer公式,可以计算获得晶粒的尺寸。
此外,根据晶粒大小,还可以计算纳米粉体的比表面积。
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