广西壮族自治xrd物相分析检测-半导体xrd研究所

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    2023-5-14

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xrd物相分析检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。

实验条件

●限定照射面积

?通过狭缝、准直管来---入射光束或通过遮挡的方法来---照射面积

●测点位置设定

?对于一个实际试样,xrd物相分析检测,应根据应力分析的要求,结合试样的加工工艺、几何形状、工作状态等综合考虑,确定测点的分布和待测应力的方向。

?校准试样位置和方向的原则为:

(a)测点位置应落在测角仪的回转中心上;

(b)待测应力方向应处于平面以内;

(c)测角仪ψ=0°位置的入射光与衍射光之中线应与待测点表面垂直。

●在常规x射线衍射分析中,选择正确的测试参数,目的是获得完整且光滑的衍射谱线。

●x射线应力测试,除满---上要求外,还必须考虑诸如角设置、辐射波长、衍射晶面以及应力常数等因素的影响。



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如何在origin上标记xrd图上的星号

1、选中卡片,然后双击-->;弹出的文本框即为标准卡片信息,从中可以看到晶面间距d,晶面指数(hkl)以及标准衍射峰位2 theta等信息-->;选中export,可以将标准卡片中的信息导出为txt文件。

2、从txt中找到标准谱图所需要的信息:2 theta和i(f)值,然后将其copy到origin里面,设置2theta 为x轴数据,i(f)为y轴数据,如图2所示

3、选中a(x1)和b(y1)做折线图,并对谱图进行优化(线粗细:3.0,类型:b-spline; 坐标轴线粗细:3.0,广西壮族自治xrd物相分析检测,字体大小:28),得到zno的xrd谱图

4、---菜单栏中graph-->;new layer(axe) -->;(linked) top x + right y,添加新图层。然后右键---“图层2”-->; layer content, 将d(y2)添加为layer content

5、双击图层2中所出现的折线图,xrd物相分析检测平台,在弹出的plot o details菜单中,将plot type改为 scatter; ---右侧菜单中drop lines选项,勾选vertical,同时将线宽调整为3;再---symbol选项,将size改为0

6、调整图层2的横坐标范围,使横轴范围与图层1一致;调整图层2的纵坐标范围,让标准卡片处于适合的位置;美化谱图,然后在图中注明标准卡片的编号



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同倾固定ψ0法

每次探测扫描接收反射x射线的过程中,入射角ψ0保持不变选择一系列不同的入射线与试样表面法线之夹角ψ0来进行应力测试工作。

ψ与ψ0之间关系为:

ψ=ψ0+η

η=90°﹣θ

同倾固定ψ0法的ψ0角设置要受到下列---:

ψ0+2η< 90°

*** ψ0<2θ-90°

2η< 90°***2θ>; 90°

同倾固定法

在每次扫描过程中衍射面法线固定在特定ψ角方向上,即保持ψ不变

测试时x=管与探测器等速相向(或相反)而行,每个接收反射x=时刻,相当于固定晶面法线的入射角与反射角相等。通过选择一系列衍射晶面法线与试样表面法线之间夹角ψ,来进行应力测试工作。同倾固定ψ法的ψ角设置要受到下列条件---

ψ+η< 90°***ψ<0




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广西壮族自治xrd物相分析检测-半导体xrd研究所由广东省科学院半导体研究所提供。广东省科学院半导体研究所位于广州市天河区长兴路363号。在市场经济的浪潮中拼博和发展,目前半导体研究所在技术合作中享有---的声誉。半导体研究所取得---商盟,标志着我们的服务和管理水平达到了一个新的高度。半导体研究所全体员工愿与各界有识之士共同发展,共创美好未来。
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