xrd摇摆曲线检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
晶片冷却温度是半导体低温工艺的一项重要技术参数,晶片冷却过程中的低温温度要求按照设定值进行准确控制。尽管大多数低温制冷系统都具有温度控制功能,可通过外部温度传感器、调节回路和控制器组成的闭环回路实现低温温度控制,调节回路基本都是通过调节制冷剂流量和膨胀方式,有些则通过辅助加热方式进行温度控制,但这些温控方式普遍结构复杂且控温精度不高,---是在多个晶片同时冷却的半导体设备中这些问题更是---。
针对上述半导体低温工艺中制冷系统在压力和温度控制中存在的问题,xrd摇摆曲线检测,本文将提出一种更简便有效的解决方案。解决方案的是在晶片托盘上并联一个流量可调旁路,xrd摇摆曲线检测费用多少,使制冷剂在流入晶片托盘之前进行部分短路。即通过旁路流量的变化调节流出晶片托盘的制冷剂压力,xrd摇摆曲线检测多少钱,一方面---制冷剂低压工作状态,另一方面实现晶片温度的---控制。
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xrd衍射谱图上的衍射峰对应的晶面该怎么看
xrd 衍射峰一般用角度值表示,该值和微观上晶体的晶面间距是对应的,一个晶面间距对应一个特定的角度。当测试多晶,陶瓷时,因为存在晶格异常,偏大或偏小,会使衍射峰变宽。材料结晶越好,峰越窄,反之越宽。
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x射线衍射分析( x-raydiffraction ,上海xrd摇摆曲线检测,简称xrd ),是利用晶体形成的x射线衍射 ,对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。
仪器技术参数
小角衍小角可以达到0.4度,主要测介孔材料和其他高分子复合材料。广角衍射:低角度可以达到5度,可以接收到小于10度的衍射峰。
(1 )测量精度:角度重现性+0.0001° ;测角仪半径***200mm ,测角圆直径可连续变
(2)小步长0.0001°;角度范围(20):-110~168°;温度范围:室温~900°c;
(3)大输出: 3kw ;稳定性: +0.01% ;管电压: 20~ 60kv(1kv/1step) ;管电流: 10~ 60ma。
送样要求
固体粉末:均均干燥,粒度小于70um (过200目) , 质不少于100mg ;块体、金属及薄膜样品:需加工出一平整的表面,尺寸约为20mmx 10mmx 2mm
应用领域
物相分析,可以对物质的组成及物相进行表征分析.定性、定量分析,通过精修可对物质的各组分进行的定量分析。
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