xrd掠入射(gixrd)检测实验室-半导体xrd测试机构

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    2023-5-6

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xrd薄膜法能够测定薄膜什么性质



一般对于薄膜材料,xrd能够做:掠入射(gixrd):    分析晶态薄膜物相,残余应力反射率测量(xrr):    对膜要求较高,晶态非晶皆可.一般分析纳米级别薄膜的厚度,深入一点可通过拟合的方法来分析密度,表面界面的粗糙度掠入射小角散射(gisaxs):    分析薄膜的纳米结构.这个比较新.


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aoi的中文全称是自动光学检测,xrd掠入射(gixrd)检测实验室,是基于光学原理来对焊接生产中遇到的常见缺陷进行检测的设备。aoi是新兴起的一种新型测试技术,但发展迅速,很多厂家都推出了aoi测试设备。当自动检测时,机器通过---头自动扫描pcb,采集图像,内蒙古自治xrd掠入射(gixrd)检测,测试的焊点与数据库中的合格的参数进行比较,经过图像处理,检查出pcb上缺陷,并通过显示器或自动标志把缺陷显示/标示出来,供维修人员修整。

运用高速---视觉处理技术自动检测pcb板上各种不同贴装错误及焊接缺陷。pcb板的范围可从细间距高密度板到低密度大尺寸板,并可提供在线检测方案,以提高生产效率,xrd掠入射(gixrd)检测分析,及焊接。通过使用aoi作为减少缺陷的工具,在装配工艺过程的早期查找和消除错误,以实现---的过程控制。早期发现缺陷将避免将坏板送到随后的装配阶段,aoi将减少修理成本将避免报废不可修理的电路板。

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xrd进行定性分析时可以得到哪些有用信息?

x射线反射率(xrr:x-ray reflectivity)是一种表面表征技术,是利用x射线在不同物质表面或界面的反射线之间的干涉现象分析薄膜或多层膜结构的工具。通过分析xrr图谱可以确定各层薄膜的密度、膜厚、粗糙度等结构参数。

xrr的特点:

1无损检测

2对样品的结晶状态没有要求,不论是单晶膜、多晶膜还是非晶膜均可以进行测试

3 xrr适用于纳米薄膜,要求厚度小于500nm

4 晶面膜,表面粗糙度一般不超过5nm

5 多层膜之间要求有密度差










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