单晶xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,单晶xrd检测分析,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
●衍射峰形处理
?对原始衍射谱线进行峰形处理,例如扣除背底强度、强度校正和kα双线分离等,以得到---的衍射峰形,有利于提高定峰精度。
?当衍射峰前后背底强度接近时(尤其侧倾测量方式),不必进行强度校正。
?当kα双线完全重合时,单晶xrd检测,即使衍射峰形有些不对称,也不需进行kα双线分离,此时只需扣除衍射背底即可,简化了数据处理过程。
●定峰方法
?应力测试,实质是测定同族晶面不同方位的衍射峰位角,其中定峰方法十分关键。
?定峰方法有多种,新疆维吾尔自治单晶xrd检测,如半高宽中点法、抛物线法、法、高斯曲线法及交相关函数法。
?在实际工作中,主要根据衍射谱线具体情况,来选择合适的定峰方法。
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晶面衍射方位角ψ
依据光学的反射定律,单晶xrd检测多少钱,参与衍射的晶面,其法线必定处于入射线与反射线的角平分线方位上,如图2所示。衍射晶面法线与试样表面法线的夹角即为衍射晶面法线方位角,通常用ψ表示。
依据布拉格定律,可以测定ψ所对应方位上的晶面间距dψ。如果已知无应力状态的晶面间距d0,便可以测定方位上的晶格应变εψ。sin2ψ法的适用范围
s1,s2与s3为试样表面坐标轴,s1由研究人员定义。图3为x射线衍射残余应力测定坐标系统。
依据广义胡克定律,这些晶面的应变是由o点的应力张量决定的,并且与φ、ψ的正余弦、材料的杨氏模量和泊松比等参量密切相关。因此,有可能依据这些的关系求得o点的三维应力,包括应力σφ。由弹性力学可以导出op方向上的应变的表达式。对于大多数材料和零部件来说,x射线穿透---只有几微米至几十微米,因此通常假定σ33=0。欢迎来电咨询科学院半导体研究所了解更多信息~单晶xrd检测
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采用x射线衍射法测定残余应力,早是由---学者阿克先诺夫在1929年提出,把材料的宏观应变等同于晶格应变。1961年德国学者macherauch基于这个思路研究出sin2ψ法,使得x射线衍射测定残余应力逐渐成为成熟的、具有可操作性的测试技术。
x射线衍射测定残余应力技术经过60a的发展,开展出多种不同的测量方法。目前x射线衍射测定残余应力技术主要有sin2ψ法与cosα法两种。
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