单晶xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,西藏自治单晶xrd检测,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
x射线衍射技术(xrd)在建筑材料检测中的应用
样品要求x射线衍射技术适用于多种类型产品的检测,送检样品可为粉末状、块状、薄膜、镀膜及其它形状。样品种类不同,单晶xrd检测平台,具体要求也有所区别:
粉末样品需要量约为2g以上(视其密度和衍射能力而定),送检粉末样品需预先干燥并研磨至大于200目;
块状和薄膜样品要求宽度不小于1.5cm、厚度不大于0.5cm近似平面试样;
对于测量金属样品的微观应力(晶格畸变),测量残余奥氏体,要求制备成金相样品,并进行普通抛光或电解抛光,消除表面应变层;
若样品在空气中不稳定,会吸湿、风化、分解,则需采取保护隔离措施,若试样、、有毒,单晶xrd检测实验室,则应采取相应的防护措施。
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同倾固定ψ0法
每次探测扫描接收反射x射线的过程中,入射角ψ0保持不变选择一系列不同的入射线与试样表面法线之夹角ψ0来进行应力测试工作。
ψ与ψ0之间关系为:
ψ=ψ0+η
η=90°﹣θ
同倾固定ψ0法的ψ0角设置要受到下列---:
ψ0+2η< 90°
*** ψ0<2θ-90°
2η< 90°***2θ>; 90°
同倾固定法
在每次扫描过程中衍射面法线固定在特定ψ角方向上,即保持ψ不变
测试时x=管与探测器等速相向(或相反)而行,每个接收反射x=时刻,相当于固定晶面法线的入射角与反射角相等。通过选择一系列衍射晶面法线与试样表面法线之间夹角ψ,来进行应力测试工作。同倾固定ψ法的ψ角设置要受到下列条件---
ψ+η< 90°***ψ<0
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表征光路及其需要用到的附件
在进行薄膜测试时,我们需要特殊的x射线衍射仪。当我们使用普通测试粉末衍射的---光束来进行物相分析时影响并不大,但是当我们需要评估薄膜时,单晶xrd检测服务,使用平行光路就更为合适了。这时候我们就需要利用---的光路设计将发散的---光路转换为平行光路。
外延薄膜通常都是的结晶半导体化合物。为了表征其晶体也就是评估薄膜晶体的与否,这时候我们需要用到rocking curve即摇摆曲线来对薄膜进行评估。并且这时候我们需要在光路中设计一些元件来过滤掉cu靶辐射出来的cukα2和cukβ射线,仅有cukα1射线波长,从而提高光路的分辨率,防止别的x射线的干扰。
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