xrd薄膜检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
残余应力及其产生
1. 类内应力
在较大的材料区域(很多个晶粒范围)内几乎是均匀的。与第ⅰ类内应力相关的内力在横贯整个物体的每个截面上处于平衡。与相关的内力矩相对于每个轴同样抵消。当存在的物体的内力平衡和内力矩平衡遭到破坏时会产生宏观的尺寸变化。
2.第二类内应力
在材料的较小范围(一个晶粒或晶粒内的区域)内近乎均匀。与相联系的内力或内力矩在足够多的晶粒中是平衡的。当这种平衡遭到破坏时也会出现尺寸变化。
3.第三类内应力
在的材料区域(几个原子间距)内也是不均匀的。与相关的内力或内力矩在小范围(一个晶粒的足够大的部分)是平衡的。当这种平衡破坏时,不会产生尺寸的变化。
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薄膜样品在基底上以二维形式存在,通常在平行厚度方向或者面内方向具有---的各向---。因此,一般我们讨论材料的性能和特点时一般有两个方向,一个是沿厚度方向,另一个是面内方向(晶面垂直于宏观平面生长的方向)。我们对薄膜的表征包含晶格常数,晶格畸变,晶体取向以及晶粒尺寸等。此外,薄膜分析通常包括薄膜特有的结晶相、亚稳相、外延薄膜中的畸变/弛豫等。
除上述外,x射线反射率的方法可以被用来表征薄膜的各种特征,例如厚度,密度,粗糙度等。该方法适用于晶态、非晶态以及多层膜的表征。
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x射线衍射技术(xrd)在建筑材料检测中的应用
x射线衍射技术(x-ray diffraction,即xrd),是对材料进行x射线衍射,分析其衍射图谱,获得材料的成分、材料内部原子或分子的结构或形态等信息的研究手段。xrd采用单色x射线为衍射源,一般可穿透固体,从而验证其内部结构,因此xrd可以给出材料的体相结构信息。通过xrd技术,可实现对物质中的矿物相的定性和定量分析。
技术原理采用x射线对物质进行衍射分析,不同原子散射的x射线相互干涉,在某些特殊方向上产生强x射线衍射,衍射线在空间分布的方位和强度,xrd薄膜检测多少钱,与晶体结构密切相关,并会得到物质特有的衍射图谱。
应用领域由于xrd具有所需样品数量少、检测速度快、无污染、不损失检材及数据处理方便等特征,因此x射线衍射分析法作为材料结构和成分分析的一种现代科学方法,已在建筑材料、化学、生物等科学研究和行业生产中广泛应用。
采用xrd技术可进行物相的鉴定和定量分析,点阵常数测定,晶粒大小,微观应力,残余应力分析及薄膜分析,平行光路几何用于表面粗糙和不规则形状物体的相鉴定分析,小角x射线散射,直接分析纳米粒子的粒度,孔径分布计算,可进行纳米孔结构分析。
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