半导体xrd物相分析-xrd物相分析检测

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xrd物相分析检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

喷丸强化中的xrd残余应力检测

喷丸强化会影响零件的各种特性，如残余应力分布、表面粗糙度、结构完整性（变形）、硬度、裂纹的产生和扩展。

schulze在他的---影响喷丸强化处理结果的参数分为设备相关、喷丸相关和工件相关三类。描述了设备的相关参数如覆盖率、冲击角、喷丸时间，射速工件参数如几何形状、硬度、温度和射程相关参数如形状、尺寸、等。 [1]

下面是喷丸强化应力的另一个例子。在本例中，残余应力的---分布由 prism激光小孔法应力分析仪来创建，该设备是基于传统钻孔法和 espi 法相结合的检测技术。

传统的钻孔法是通过去除一定体积的材料使应力平衡发生变化，剩余的材料会重新平衡其应力场，这种应力释放和表面变形可以通过电阻的变化来测量。

espi–电子散斑图干涉测量法是一种非接触式测量技术，能够以高分辨率测量和监测非均匀应变场的应力变化。

首先，该零件已使用 x 射线衍射法（xrd 环）进行测量，然后使用 espi/钻孔技术（espi b1、b2、b3）连续3次测量以验证结果的---性和一致性。

综上所述，可以说喷丸强化产生的残余应力是相当有益的。但是，需要通过---分析来确认应力值和应力分布情况。