单晶xrd检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
小角xrd表征什么,大角xrd又表征什么
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薄膜厚度和界面结构的测定随着纳米材料的高速发展,纳米薄膜的研究也变得越来越重要。利用xrd研究薄膜的厚度以及界面结构也是xrd发展的一个重要方向。通过二维xrd衍射还可以获得物相的纵向---剖析结果,也可以获得界面物相分布结果。物质状态的鉴别不同的物质状态对x射线的衍射作用是不同的,因此可以利用x射线谱来区别晶态和非晶态。一般非晶态物质的xrd谱为一条直线,平时所遇到的在低2θ角出现的漫散型峰的xrd一般是由液体型固体和气体型固体所构成。
晶体物质又可以分为微晶和晶态,微晶具有晶体的特征,但由于晶粒小会产生衍射峰的宽化弥散,而结晶好的晶态物质会产生尖锐的衍射峰。
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薄膜样品在基底上以二维形式存在,通常在平行厚度方向或者面内方向具有---的各向---。因此,一般我们讨论材料的性能和特点时一般有两个方向,一个是沿厚度方向,另一个是面内方向(晶面垂直于宏观平面生长的方向)。我们对薄膜的表征包含晶格常数,晶格畸变,单晶xrd检测价格,晶体取向以及晶粒尺寸等。此外,薄膜分析通常包括薄膜特有的结晶相、亚稳相、外延薄膜中的畸变/弛豫等。
除上述外,x射线反射率的方法可以被用来表征薄膜的各种特征,例如厚度,密度,粗糙度等。该方法适用于晶态、非晶态以及多层膜的表征。
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