重庆xrd薄膜检测-xrd薄膜检测-半导体研究所

xrd薄膜检测xrd残余应力检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一，主要---半导体产业发展的应用技术研究，---重大技术应用的基础研究，xrd薄膜检测测试，从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究，以及行业应用技术开发。

x射线衍射分析( x-raydiffraction ，简称xrd )，是利用晶体形成的x射线衍射 ，对物质进行内部原子在空间分布状况的结构分析方法。

仪器技术参数

小角衍小角可以达到0.4度，主要测介孔材料和其他高分子复合材料。广角衍射:低角度可以达到5度，可以接收到小于10度的衍射峰。

(1 )测量精度:角度重现性+0.0001° ;测角仪半径***200mm ，测角圆直径可连续变

(2)小步长0.0001°;角度范围(20):-110~168°;温度范围:室温~900°c;

(3)大输出: 3kw ;稳定性: +0.01% ;管电压: 20~ 60kv(1kv/1step) ;管电流: 10~ 60ma。

送样要求

固体粉末:均均干燥，粒度小于70um (过200目) ， 质不少于100mg ;块体、金属及薄膜样品:需加工出一平整的表面，尺寸约为20mmx 10mmx 2mm

应用领域

物相分析，可以对物质的组成及物相进行表征分析.定性、定量分析，重庆xrd薄膜检测，通过精修可对物质的各组分进行的定量分析。