xrd倒易空间(rsm)检测半导体xrd检测——广东省科学院半导体研究所是广东省科学院下属骨干研究院所之一,主要---半导体产业发展的应用技术研究,---重大技术应用的基础研究,从事电子信息、半导体领域应用基础性、关键共性技术研究,以及行业应用技术开发。
我现在做介孔材料。介孔(孔径 2-50nm)在材料中成有序排列,象晶格一样的排列在材料中,孔壁、材料为非晶相。为什么 xrd 能粗测孔与孔的间距?我了解到的是,孔成有序排列,所以在小角度会有衍射峰,(001)面的峰值和孔径有关。但我不知道为什么?
跟长周期有关:大的孔需要大的周期,或者说是孔面间距,类似于晶面间距。孔意味晶体中该区域没有原子填充,没有填充原子就无衍射峰。而孔洞的边界是原子紧密排列的,原子密度相对较高,对应产生较强的衍射,强度较大。
大孔孔径大,空间重复周期大(即长周期),对应的晶面距大,产生的衍射在小角区。所说的(001)有强线对应的材料的晶体 c 轴较长,如果第是(100)则 a 轴较长。
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由于有标法很难用,因此有人就着手研究“无标法”了。这些方法通过理论计算k(就是上式中c的一部分),或者按某种方法直接比强度。由于晶体结构的复杂性,理论计算c的可能性很小,目前实用的大概只有“钢中残留奥氏体的测量”(有)。直接比强度法理论是可行的。但是,也附加了很多种条件。比如,xrd倒易空间(rsm)检测哪里可以做,要测的样品中有两个相,xrd倒易空间(rsm)检测多少钱,需要另外提供一个也含有这样两个相(多一个或少一个都不行),湖南xrd倒易空间(rsm)检测,含量又不同于待测样的附加样品。通过理论计算还是可以的。比如还原co粉时,通常都同时存在两种结构的co相(立方和六方)。如果刚好有一批这样的样品,就可能用这种方法来做含量计算,但是,老天保佑,千万别被氧化了,如果样品中还含有氧化钴,麻烦就来了。当然,如果,样品中含有10个相,就得至少提供这样的10个样品。想想,好不容易弄出一个样品来,还要另外去找9个相似的样品(都含有10个相同的相,而且含量不能相同),有可能吗?真不可能! 说了这些困难,也就是为了告诉你一个事实,为什么一般实验室在做物相鉴定时说得头头是道,而你想测物相含量时,他只有两个字回答你:不做!
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可以看到激光退火制程后的半导体集成电路晶圆的x射线衍射成像。 激光退火后,自动化图形分析软件将衍射成像图中的缺陷制动识别出来,并将符合滑移线特征的缺陷用绿色标识出来。 然后可以按照klarf格式将各缺陷的坐标位置、尺寸、灰度等特征参数报告输出,并且提供给生产监控使用。 生产监控实例也发现,一旦衍射成像结果中滑移线的数量开始增加,晶圆的几率大幅增加
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