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尽管spike退火没有明显的滑移带, 高分辨率的x射线衍射成像图形结果中显示晶圆的边缘也出现了像钻石光源一样形状的成核位置。如图3所示,这些位置大多数处于晶圆边缘。在某些情况下,有非常明显的局部应变,;而另外一些情况下,没有明显的应变区域,。这种成核于晶圆边缘并向内延伸的位错类型呈半环形,沿着倾斜的{111}滑移面,依着平行于(100)晶圆表面的四个<011>; 方向,向内部滑移。它们不均匀的分布在晶圆边缘。
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“衍射强度”实际上的定义是积分强度。
从衍射图上看起来,就是衍射峰的面积。这里定义k值时,却用了衍射峰的高度。它们之间能通用吗? 也许是通用的。但有一个前提条件:所有物相、所有衍射峰的峰形完全相同!主要的是衍射峰的宽度要相同。否则就会存在误差! 因为,衍射峰的面积是高度乘以宽度。仔细的人会发现,简单的面积计算公式是: 面积=峰高乘以半高宽 所谓半高宽就是指衍射峰一半高度处的宽度(fwhm)。 有的人会发现,用这个方法,algan材料xrd检测机构,计算出来的结果误差较大。这就是原因之一。不同的物相,algan材料xrd检测报告,不同的衍射角,衍射峰的宽度是不相同的。当然,如果样品中的物相晶粒都差不多,那么含量计算结果也差不多。 这里说的是差不多,不是说准确。因此,有人称之为“半定量”结果。
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相图是一定要查的。
在合金样品的物相鉴定中,图谱与标准pdf卡片上的数据往往有差异,甚至于某些相的某些峰---不会出现。如果不知道相图,就只能一阵乱猜了。在检索卡片之前,看图,做到心中有数。实际上,很多时候不是按图谱来检索卡片,而是,相反地,输入卡片,查看是不存在某物相。
经验很重要。
有些检索参数,如fom,只能做为参考。从对图谱的情况来说,当然是fom越小越好,但,有时偏偏就是要取那种fom很大,甚至达到99.99的卡片。这就是经验,也是以上几点的综合运用了。
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